Сверхвысоковакуумные откачные модули

ФГУП СКБ ИРЭ РАН разрабатывает и изготавливает сверхвысоковакуумные откачные модули (СВОМ) на базе магниторазрядных насосов.

В состав СВОМ входят:

  • насос магниторазрядный;

  • корпус СВОМ;

  • фланец криопанели;

  • криопанель;

  • титановый испаритель;

  • блок питания насоса магниторазрядного;

  • блок питания титанового испарителя.

На фланце криопанели предусмотрены патрубки для присоединения датчика вакуума и цельнометаллического вентиля форвакуумной откачки.

Дополнительное оборудование:

  • затвор шиберный;

  • вентиль цельнометаллический;

  • датчик сверхвысоковакуумный с вакуумметром;

  • сосуд для заливки жидкого азота в криопанель;

  • подрамник;

  • печь термического обезгаживания СВОМ;

  • блок питания печи СВОМ с автоматическим и ручным управлением нагревом.